二九文学

手机浏览器扫描二维码访问

第670章 第二步 覆海破晓 a220 euv光刻机（第4页）

「陈老师，光束匀化度992，符合220瓦功率下的光学适配要求，成像光学系统已完成自动对焦校准！

」

章延杰扬声回应道。

这一次，控制室内的骚动比方才更加明显。

有人悄悄抹了把眼角，还有人用拳头轻轻捶了下桌面。

从107瓦到220瓦，不仅仅是数字的提升，更是证明他们的cde-euv光源既能「点亮」，也能在更高功率下保持稳定，这意味着量产的可能性又近了一步。

功率是制约工艺节点的重要因素！

制程微缩需实现更小的线宽和间距，要求euv光具备更高的光学对比度，而功率是对比度的核心支撑。

220瓦的稳定功率，足以满足7纳米制程的晶片生产所需。

陈延森嗯了一声，接着吩咐道：「准备晶圆台与掩模台同步测试，加载测试晶圆，按28纳米制程参数设置曝光程序。

」

汪象朝马上响应：「测试晶圆已通过机械臂送入预对准工位，掩模台已加载28纳米标准电路掩模版，同步精度校准中。

」

顷刻间，众人的视线重新聚焦在主监控屏上。

屏幕被分成了四个画面：左上角是光源功率与等离子体状态，右上角是光学系统的光束分布，左下角是晶圆台的实时坐标，右下角则是掩模台的运动轨迹。

随着汪象朝按下按钮，两个精密平台迅速移动，它们的运动轨迹像两条精准咬合的齿轮，每一次微调都控制在01纳米以内。

「同步精度008纳米！

已达预设标准！

」

汪象朝说道。

陈延森看了一眼时间，此刻是晚上8点37分，距离真空泵启动已经过去了半个多小时。

他俯下身子，对着麦克风，向实验室的工作人员叮嘱道：「曝光开始，单次曝光时间设置为05秒，记录所有参数。

」

核心腔室的观察窗内，淡紫色的微光骤然亮了一下，旋即恢复柔和。

光路末端的探测器疯狂刷新着数据，屏幕上跳出一行行代表「曝光能量密度」丶「线宽均匀度」丶「图形套刻精度」的数值。

每一个数字都在朝着合格的方向靠近！

05秒的时间，却像一个世纪那麽漫长。

当曝光完成的提示音在控制室内响起时，汪象朝立刻操控机械臂将测试晶圆移出，送往检测室。

一行人都跟了过去，连脚步都变得急促起来。

在精密的euv掩模版检测仪下，当第一张晶圆的光刻图案清晰显示在屏幕上时，现场彻底沸腾了。

线条细如蛛丝，却没有一丝断裂或模糊，每一个电晶体的轮廓都精准得如同复刻。

光刻机的运行原理就像印刷机，又像照相机，只不过它所运用的『画笔』和『画板』都更为精细。

「成了！