二九文学

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第670章 第二步 覆海破晓 a220 euv光刻机（第2页）

工程师们穿着全套无尘洁净服，像手术室里的医生，在设备周围轻缓走动，进行着最后的检查。

「老板，各分系统自检完毕，真空机组随时可以启动。

」

林南的声音略带沙哑，冲着陈延森汇报导。

陈延森点了点头道：「按计划执行，逐步建立光路真空。

」

命令下达后，控制室内的气氛瞬间绷紧。

巨大的真空泵组开始工作，发出低沉的咆哮。

显示屏上，代表光路内部真空度的数字，呈现断崖式的下跌趋势：001pa丶00001pa丶0000001pa，向着高真空迈进。

所有人的心都提到了嗓子眼！

极致的真空环境是euv光源传输的前提，任何一个微小的泄漏，都会导致前功尽弃。

不知过了多久！

汪象朝突然大声喊道：「真空度稳定在00000006帕斯卡！

已达预设值！

」

控制室内响起一阵轻微的丶克制的骚动，有人轻轻握了握拳。

第一步，成功了！

为什麽euv光刻机的光源系统丶主腔体中的照明光学系统丶成像光学系统丶晶圆平台模组丶掩模搬运模组和晶圆搬运模组都得处于真空环境下？

这是因为euv光波长极短，极易被包括空气在内的所有物质吸收。

在真空环境中，可最大限度减少气体分子对euv光的吸收和散射，从而确保光源能量能有效传输至后续光学系统。

若处于非真空环境，euv光会在传输过程中大幅衰减，无法满足光刻所需的能量强度。

这一模块的核心技术，是由章延杰牵头，联合几十名渖阳光机所的工程师共同攻关拿下的。

因此，他比任何人都紧张，生怕出现纰漏，拖了团队的后腿。

「启动光源预热，功率设定为最低档位。

」

陈延森语气平静地宣布下一道指令。

令人紧张的时刻到来！

这是星源科技驯服的第一头猛兽——磁约束放电激发等离子体光源（cde-euv光），即将被唤醒！

如果一切正常，它将用「电磁场」代替「雷射」作为激发和约束等离子体的手段，进而获得微弱的丶波长为135纳米的极深紫外光。

时间一分一秒地过去。

主监控屏上，一个原本平坦的基线，微微跳动了一下。

随后，一个虽然微弱但清晰可辨的信号峰值，顽强地升了起来！

「有信号了！