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全球只此三家!
一天9740万!
饵料要吃,自研不能停!
5月31日下午,星源科技光学研发中心。
此时虽值假期,但负责照明系统攻坚任务的上百名研发工程师,却大多都在实验台前忙碌着。
「面形精度34皮米!
」
「钼矽多层膜的表面粗糙度为46皮米!
」
「光能利用率91!
」
「照明均匀性超过了98!
」
突然,测试组的一名年轻工程师大声喊道。
其他人闻声,不约而同地停下了手中工作。
「哈哈哈不积跬步,无以至千里;不积小流,无以成江海!
林总,我没说错吧?这照明系统外国人能搞定,我们同样行!
」
汪象朝眯起眼睛,仔细琢磨着这几组数据背后的意义。
这意味着华国半导体行业,首次掌握了完整的照明系统技术链。
一旦攻克投影物镜系统丶掩膜版与掩膜台的核心技术,华国将拥有一套具备世界领先水平的反射式光学系统。
至此,距离自研euv光刻机,已经差不多走完了三分之一的艰难路程。
这一切,还不是全靠老板!
林南在心中暗暗思忖。
刘峰俊从庐州返回后,带回了一套工艺成熟的离子束抛光丶磁流变抛光及磁控溅射技术方案。
与此同时,陈延森的科研天赋也在研发中心渐渐传开。
尽管起初大部分研究人员并不相信陈延森,但如今成果就摆在眼前,由不得他们不信。
更何况,还有刘峰俊这位当事人的佐证。
「汪工,技术文档咱们有了,但这制造任务该交给谁?是长春国科精密,还是沪城微电子装备?」
林南眉头微蹙,看向汪象朝问道。
「选沪城微电子吧,」汪象朝略一思索后说道:「他们的真空系统和抗污染技术,在国内是顶尖水平,能最大程度提升成像质量。
」
汪象朝这辈子的精力都扑在了光学系统研发上,对华国超精密光学制造行业的情况极为熟悉。
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