二九文学

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第626章 难道没有国外的技术我们就造不出（第1页）

难道没有国外的技术，我们就造不出euv光刻机吗？

「又卡壳了？」

陈延森看完林南的汇报邮件，眉心微蹙。

他没想到，自己都已经把大门踹开，为他们铺好了路，这帮人却还是没能力往前再走一步。

当前的难点有两方面：

第一，中继镜组中的非球面反射镜，需要将面形精度控制在50皮米以下，表面粗糙度得低于01纳米的均方根误差。

换句话说，这相当于要求一块徽安省大小的区域，整体起伏不能超过一张a4纸的厚度。

难度可想而知！

目前，全球仅有灯塔国的赛高丶德国的蔡司具备相应水准的镜面抛光工艺。

可受到瓦森纳协定的限制，即便花钱买，也拿不到供货名额。

而哈工大丶国防科大和华科协会长春光机所，尽管拥有离子束抛光与磁流变抛光技术，理论上能实现原子级的面形精度，但现实与理论往往存在巨大落差。

这就好比问，国内能造出f1赛车的发动机吗？

按理说，华国不缺能生产金属活塞和气缸的工厂，也清楚内燃机的制造原理。

但f1赛车发动机并非单一部件的简单组合，它是材料学丶精密加工丶热力学丶电子控制系统等顶尖技术的集成体，且对转速丶热效率和可靠性的参数标准达到了行业极致。

由此可见，技术原理懂了，要落地到稳定的实际生产中，仍有难以逾越的鸿沟。

明白是一回事，造出来又是另一回事。

第二，镜子打磨完成后，还得在表面镀上40到60对的钼丶矽交替薄膜层，且每层厚度的误差都需控制在原子级别。

镀膜环节所需的磁控溅射技术，国内虽有不少研究所已掌握，但在均匀度和精细度上，仍然不符合euv光刻机的使用需求。

此外，如何精准检测镜面光滑度也是个难题。

没有测量，就没有加工！

检测能力决定了抛光水平的天花板。

2014年华国在高精度干涉仪领域，特别是用于euv波段的检测设备和技术，根本达不到50皮米的测量精度。

而林南和汪象朝等上百位研发工程师，已是光学赛道的佼佼者，连他们都搞不定的事，再找其他人，大概率也无济于事。

他们尽力了，只是能力有限。

陈延森心里清楚，他要是不出手，这场科研大会战多半要成为一个笑话。

他略一思索，便让林南先把离子束抛光丶磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。

与此同时。

沪城，星源科技光学研发中心。

林南倚在实验台前，双眼满是红血丝，神色黯淡。

汪象朝坐在一旁，拍了拍林南的肩膀说道：「别着急，车到山前必有路，慢慢啃呗，既然方案都有了，还怕搞不定工艺问题？」

沪城光机所的一名专家点头附和道：「以前我们不需要皮米级别的抛光精度，所以技术进展就慢，现在不一样了，只要搞定照明系统的非球面反射镜，这euv光刻机的光学系统，就等于拿下了一半的核心技术。

」

话虽如此，实验室里的气氛却没怎麽缓和。

林南苦笑一声，指着桌上的检测报告：「道理都懂，可现实摆在这里，我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准，面形精度够不够，压根不知道。